行業主要上市公司：清溢光電(688138);路維光電(688401);中芯國際(688981);華宏半導體(01347)等

本文核心數據：中國掩膜版產業發展歷程;中國掩膜版參與者類型;中國掩膜版產業市場規模

產品規格布局概述

目前我國掩膜版產品布局種類較為全面，平板掩膜版覆蓋6代及以上、8.5代及以下、10代及以上三個品種;半導體掩膜版覆蓋130nm以上、28-90nm、22nm以下三個品種。我國掩膜版行業領先企業路維光電掌握G11量產能力，先進性較強，但行業整體實力中等。目前全球130nm及以下制程半導體掩膜版出貨量占比約為46%，但國內第三方掩膜版廠商僅掌握25nm及以上制程半導體掩膜版工藝。

注：最高為五星，最低為一星。

產線建設逐步完善

目前我國并未有權威機構對掩膜版產線布局進行統計。以我國掩膜版行業領先企業路維光電為例，截至2021年12月31日，路維光電擁有10條產線，其中深圳廠區有2條產線，對應2臺光刻機，其它后段生產設備如檢查設備、測量設備、清洗設備等則采用搭配共用的方式;成都路維有2條產線，對應2臺光刻機，路維科技有6條產線，對應6臺光刻機，其它后段生產設備如涂布設備、清洗設備、檢查及貼膜系統、測量設備、自動搬運系統等則采用搭配共用的方式。以光刻機列示產線分布及設備應用情況如下：

產量保持擴大態勢

從產量來看，2016-2021年，清溢光電產量逐年遞增，由2016年的3988.17平方米上升到2021年的5145.83平方米。路維光電2019-2021年的產量增速較快，CAGR達到12.28%。整體來看，我國掩膜版行業的產能率雖不高，但正在逐年遞增，相關產量規模也在逐年擴大。

注：1)統計范圍為石英掩膜版和蘇打掩膜版;2)路維光電未披露2016-2018年數據。

銷量波動上升

從銷量來看，我國掩膜版上市企業的銷量逐年遞增，清溢光電的銷量規模從2016年的3991.49平方米達到2021年的5189.55平方米。路維光電的銷量從2019年的2840.04平方米到2021年的3743.35平方米。

注：1)統計范圍為石英掩膜版和蘇打掩膜版;2)路維光電未披露2016-2018年數據。

產銷率接近100%

我國掩膜版行業主要上市企業的產銷率近年來保持在100%左右，2021年清溢光電產銷率為100.8%，路維光電產銷率為98.8%。整體行業供需較為平衡。

注：1)統計范圍為石英掩膜版和蘇打掩膜版;2)路維光電未披露2016-2018年數據。

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