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邀請演講我國自從潔凈室工程出現之后,頒布了一系列潔凈室工程規范性文件,對于潔凈室的指標要求、工程規范、施工要點、材料使用等都做了詳細的說明和指導。
截至2018年10月,我國共發布了有關潔凈室的國家標準29項。其中《潔凈廠房設計規范》是總括性規范文件,《醫藥工業潔凈廠房設計規范》、《電子工業潔凈廠房設計規范》、《醫院潔凈手術部建筑技術規范》和《食品工業潔凈用房建筑技術規范》分別對電子工業、醫藥工業、手術室、食品工業做了更加細致的指導。
集成電路技術升級和產業投資帶來潔凈室工程新需求
潔凈室主要應用領域包括電子、制藥、生物工程、醫療衛生、食品、實驗室和軍工等行業。潔凈技術已廣泛應用于各行各業或其他要求防止粒子污染、微生物污染的環境控制,由于各行業間差距較大,且要求不同,因此控制環境的內容、指標均不相同。最常見最依賴潔凈室為生物制藥生產潔凈室,食品,化妝品,電子廠,實驗室,等等對環境有要求的地方。
由于技術原因和制造工序的復雜程度高,集成電路制造是對潔凈度整體要求最高的行業。集成電路由于技術的復雜程度與日俱增,對于空氣潔凈度的要求也越來越高,核心工藝區需保持 1-4 級的潔凈度。而其他大部分行業比如食品制造,藥品,醫學等行業對潔凈度的要求大多在 5-9 級,遠低于集成電路和新型顯示對潔凈度的要求。
2016 年開始,在政策和資金的雙重推動下,我國集成電路行業迎來投資的密集期。在集成電路產業基金、國家科技重大專項及地方基金等國家隊的帶動下,集成電路產業投資開始爆發,比如存儲器市場,自 2015 年開始,我國存儲器產業市場從零起步,正逐漸形成紫光/長江存儲系、福建晉華以及合肥長鑫三足鼎立格局,紫光計劃將在十年內成為全球前五大存儲器制造商。
潔凈室工程是集成電路產業發展最先受益的環節
潔凈室工程是集成電路制造環節中重要的一環,直接決定了最終產品的成敗。現代集成電路制造工藝已經達到 14 納米級別,未來幾年內 7 納米工藝即將成熟,集成電路的制造過程一般為自動化軟件把算法邏輯生成硬件電路開始,然后將集成電路設計版圖轉印到光刻板上,集成電路的基礎制造材料是硅片,硅片經過各種表面處理后,與光刻板一起經過包括光刻、熱處理、介質沉積、化學機械研磨等工藝最終形成集成電路芯片。如果生產過程中潔凈程度達不到要求,產品良品率會受到很大影響,最終產品就會失敗。
隨著技術的進步,集成電路對潔凈度的要求越來越高。一般而言,當微粒尺寸達到集成電路節點一半大小時就成為了破壞性微粒,對集成電路的制造產生影響。比如,14 納米工藝中 7 納米的微粒就會影響制造過程。隨著集成電路的工藝越來越高,目前 5 納米的工藝已經開始研發,集成電路制造過程需要的潔凈程度越來越高,對于潔凈室工程的技術提出越來越高的要求。
潔凈室市場規模測算方法
通過對行業內各個環節公司的微觀調研,大致得到了集成電路和新型顯示潔凈室工程各環節投資占項目總投資百分比。結合項目案例和調研數據,對于集成電路項目和新型顯示項目,一般來說,項目總投資中 70-80%投入到固定資產,固定資產中 20-30%投入到廠房建設中,廠房建設可以分為 3 個部分,工程設計、土建施工、潔凈室施工,其分別占的比例為 2-7%,30-40%,50-70%左右,潔凈室施工可以分為 6 個子系統,總體能分為潔凈系統和機電系統,分別占潔凈室工程的 50%,50%。
根據中國電子學會預測,我國潔浄室工程行 業市場規模將由2015年的767.55億元増至2020年1,412.33億元,年均復合増 長率在12.97%左右。其中,2018年我國潔凈室工程行業市場規模増至1268.58 億元。

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